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一部上場企業の大手鉄鋼メーカーで、半導体デバイスプロセスの開発
■ プロジェクトの目的
0.5μｍ CMOSデバイス・プロセス開発
■ 体制・人数
■ 自分のポジション・役割
メンバー：CMOS配線のデザインルールを決めるためのTEG設計と評価
TEG：Test Element Group
■ 目的を達成する上での課題
新規プロセス開発のため、デザインルールが決定しておらず、製造余裕を確保するためのばらつきの把握
■ 課題に対して取り組んだこと
少ない試作の中で、様々な条件を網羅的に評価して、デザインルールを決定すること「
■ ビジネス上の成果
Fab（工場）へのスムースな移管